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【求助】问几个检测方面问题

XPS及其它能谱仪

  • 1.XPS、AES、EDS的探测深度大概是多少?横向分辨率是多少?
    2.做SEM扫描电镜时,为什么要从高倍聚焦开始调焦观察试样?
    3.H、He元素用什么仪器检测?


    谢谢
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  • 去年冬天

    第1楼2009/04/05

    有氦检测仪的

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  • cugb0104

    第2楼2009/04/07

    谢谢!其他问题有人知道吗?

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  • feixiong5134

    第3楼2009/04/08

    aes在一个nm左右
    xps在3-10个nm左右
    eds好像是微米级别

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  • cugb0104

    第4楼2009/04/14

    谢啦
    这些东西不清楚的话还真没办法选择检测方法

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