【讨论】请教关于电子束流大小的测量

对此也不甚明了，不过我猜测是这样的：通过荧光屏上感受电子束流的密度，有一定的荧光发射，这个数字应该是对整个荧光屏来说，以其面积做为分母，而有荧光发射区域的电子密度总和去除这个分母。

专门的辐照效应研究，通常用一种叫法拉第杯的装置测量电流大小。但是这不是常见的配件，通常的电镜没这个功能。你的方法也算一种，但是没有法拉第杯准确。

如果你用小屏，那就要保证光斑小于小屏，否则会差很多。

我还以为法拉第杯是SEM专用的.....

那么这个电流密度是仅仅针对电子束辐照的面积来说了？

电镜显示的电流密度是从荧光屏测出来的，并且是这个荧光屏的平均值。有时候光斑中心和边缘强度分布不同，所以用两个荧光屏测到的数值不同。找一个带洞的厚样品可以验证这个问题。电镜的自动曝光也是根据这个算出来的，所以自动曝光的时候要根据自己的需要选择不同的荧光屏测光。

我看到一篇文献(J. Mater. Res., Vol. 12, No. 7, Jul 1997)
Dose measurements were obtained using a Gatan TEM stage equipped with a Faraday cup.

Energy(keV) Current(nA) diameter (cm) area (cm2) Current density (A/cm2) Temperature rise
80 4.94 0.000204 3.27x10e-8 0.15 7.1
120 10.55 0.000204 3.27x10e-8 0.32 11.9
160 19.78 0.000204 3.27x10e-8 0.61 19.1
200 47.3 0.000204 3.27x10e-8 1.45 41.1

我想问的是在电压,光栏,a角和束斑号设定后,是不是束流大小就是定的,不管你的实际电子束斑大小多少.
我把200keV FEG电子束聚到直径15nm,177x10e-14 cm2, current density 大概是200A/cm2,那么current是0.35 nA,与上面文献的差别怎么这么大, 令人非解

200A/cm2是怎么来的？

赞同。

>>楼主提到的方法是通过荧光强度的粗糙估计，由于电子束强度到荧光强度转换之间的转换可能需要一个ill-defined的关系，它只能用来做定性的相对的比较。
通过电流的探测能直接得到电子流的大小，电流的测量有非常成熟的技术，到达pA级已不是难事。

>>此外，光强的测量通常是在秒的时间尺度上积分平均的结果，很多动态信息全被平均掉了，很可惜，而电流的测量原则上可以进行纳秒级的动态观测，信息量丰富得多，当然纳秒级的测量并非人人都能玩，尽管如此，傻瓜用户玩到微秒问题不大。