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【已应助】aip数据库文献一篇

liukegoal

2009/04/22

文献检索－互助

赏
悬赏金额:16积分状态:已解决

【序号】：
【作者】： Yanqiu Li , Yuan Zhou
【题名】： Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in hypernumerical aperture lithography
【期刊】： J. Vac. Sci. Technol. B
【年、卷、期】： 2008，26(2)
【全文链接】： http://scitation.aip.org/vsearch/servlet/VerityServlet?KEY=FREESR&smode=strresults&sort=chron&maxdisp=25&threshold=0&possible1=Yanqiu+li&possible1zone=author&bool1=and&possible2=yuan+zhou&possible2zone=author&OUTLOG=NO&viewabs=JVTBD9&key=DISPLAY&docID=3&page=1&chapter=0

dong3626 2009/04/22

[img]https://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=146022]Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in hypernumerical aperture lithography [/url]

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