【讨论】FEI Magellan SEM

没用过，不过是我目前知道的最强悍的扫描电镜，在低压下分辨率可达0.9nm。不过价格也是很高很高的。

1~30KV全程实现亚纳米分辨率
不过价格是超贵啊 国内貌似还没有

清华有一台日立的S-5500扫描电镜，分辨率0.4纳米

你好，请允许我简单介绍一下。

热场发射扫描电镜。据称是0.8nm@15KV,0.9nm@1KV的高分辨率。马达台的机械精度也比较高。物镜上的设计比较特殊，应对高分辨率观察。性能值得期待。

不过，虽说是热场可是电子束流不是很大，限制了不少分析功能。为了追求高分辨，工作距离设得非常的小，初级用户很有可能用样品顶撞物镜；冷阱的位置也出现了变化，冷阱能取得理想的效果值得怀疑。还有电子探头的位置不十分理想，信号的选择上有不少缺陷。

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主要是2家在对打期待

这位用户您好。先说明一下冷阱和冷热场是基本没有关系。
请允许我先来介绍一下冷阱的作用吧。
在高放大倍数观察时，样品表面或周围的碳化物因电子束的照射会对样品表面形成污染，妨碍表面观察。冷阱是利用低温度的冷却板和样品表面的温度差来吸附那些碳化物来防污染。
所以说像Magllan这样的高分辨电镜不可能不配冷阱。

碳沉积是个大问题，超高分辨时这个问题尤其明显，无可逃避。Magellan为此不仅配了冷阱，还有等离子清洗附件及样品交换室。
Magellan电子枪上装了单色器，据说其单色性比冷场还好，同时又有热场的稳定性。它的最大电流为22nA，这个不低吧。

FEI Magellan对Zeiss的哪款？ Ultra55？