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请教一下关于场发射电镜镜筒部位保养问题！

首捷

2019/02/28

扫描电镜（SEM/EDS）

本人接触场发射时间不长，经过学习发现一个问题，场发射电镜最精密的镜筒部分在使用过程中，不可避免的会有有机及其它杂质吸附上去，如果日积月累是不是就会造成分辨率下降呢？有没有自我保养的办法啊？能够让附着在镜筒部件上面的杂质去除掉？谢谢大家

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小不董

第1楼2019/02/28

应助达人

我们场发射的扫描电镜快5年了，没有对镜桶维护过，曾经问过工程师，工程师说场发射的镜桶不用维护，不像钨灯丝的扫描电镜

0

UNM

第2楼2019/02/28

应助达人

基本不会因为这个导致分辨率问题，有的人会用丙酮什么去擦拭，但是效果也不会怎么样。若真空变差，直接烘烤比去擦拭这些还好。
小不董(doxw0323)发表:我们场发射的扫描电镜快5年了，没有对镜桶维护过，曾经问过工程师，工程师说场发射的镜桶不用维护，不像钨灯丝的扫描电镜

0

首捷

第3楼2019/02/28

谢谢你们的回答，那我们的场发射电镜前期突然物镜光阑污染了，分辨率突然下降，不知道啥原因？然后我们就换了光阑才能正常使用了。不过有些校正自己还做不了。

0

Insm_e26787de

第4楼2019/03/15

电镜的镜筒不需要保养维护，平时送样的是时候注意一点就好

0

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