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【讨论】灯丝电流及电压对图像及EDX的影响

fly-fall

2009/07/28

扫描电镜（SEM/EDS）

公司有两台老旧的日立S4700电镜，一日突发现其束流为20ua，而其说明书上推荐的为10ua.当将束流调为10后，图像变黑...不知可有方法恢复？换灯丝？另SEM图像说电压越高，轮廓越清楚，是不是由于其激发出的电子更多？而且激发的深度也比较大？那将电压调高，用小电流，是不是能减少样品的污染？EDX时，同时应用高电压，大束流是不是能显著缩短时间并且提高COUNTS呢？其对样品表面会有何作用？

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firesoul119

第1楼2009/08/07

我也不懂，希望有高手释疑！
我想：电压高，电子的能量就高；电流大，电子的数量就多。
为了激发所有的元素，电压在20K 大家说较合适；
电流大是可以增加COURTS，为了提高信噪比，COURTS调节在2000以上；
COURTS还和材料的原子序数有关，我就想到这么多了，为楼主添了一块砖，希望能砸到大家的氧化铝！
另外电流和电压对探测深度的影响是如何的？

0

fly-fall

第2楼2009/08/08

电压越大探测深度越大，因为电子入射的距离越深，激发出X射线的地方也越深。对于大电流,好像操作手册上一般是不要求的，我们的电镜是由于老化比较严重，才从10ua变成20ua的，否则平时观察图像就会模糊不清
firesoul119 发表:我也不懂，希望有高手释疑！
我想：电压高，电子的能量就高；电流大，电子的数量就多。
为了激发所有的元素，电压在20K 大家说较合适；
电流大是可以增加COURTS，为了提高信噪比，COURTS调节在2000以上；
COURTS还和材料的原子序数有关，我就想到这么多了，为楼主添了一块砖，希望能砸到大家的氧化铝！
另外电流和电压对探测深度的影响是如何的？

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