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每周一问5:镜筒里光阑/光圈种类数量知多少?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 电镜镜筒中有多种光圈(光阑),每种光阑有一个到数个,像阴极发射光圈,限束(减束)光圈,虚拟光圈,物镜光圈等,大小位置都不同,请问他们的作用都是什么呢?
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  • 第1楼2005/08/15

    光圈是电镜最重要的机械部件之一 , 清楚理解 对操作帮助很大哟

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  • 第2楼2005/08/15

    嗯,你问的问题真棒,对于我这种一知半解的人是个促使去思考去翻阅的动力。我原来以为只是调节光亮度,也能增加像的反差。翻书之后至少知道主要是为了调节最佳孔径角,从而得到最佳的分辨率。另外也知道因为这个,光阑需要特别仔细的对中,否则会增加球差,影响像的质量。
    肯定还不全面,大家上啊,呵呵。

    renxin 发表:光圈是电镜最重要的机械部件之一 , 清楚理解 对操作帮助很大哟

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  • 第3楼2005/08/16

    聚光镜光阑(Condenser Aperture):电子显微镜中最常用的光阑,用于限定电子束在样品上的照明区域,也用于限定照明角度。
    物镜光阑(Objective Aperture):用于限制由样品引起的散射角度,会影响像的衬度和分辨率。
    限场光阑(Field Limiting Aperture):用于限定样品上观察衍射花样的区域。
    入场光阑(Entrance Aperture):用于限定进入omega过滤器的电子束的直径。它的功能就是,当EM处于谱模式下,限定分析区域。如果光阑尺寸较大,那么能量分辨率不会高;反之,如果减小光阑尺寸,将提高能量分辨率但像会变暗。

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  • 第4楼2005/08/16

    太棒了,有些名词压根就是第一次听说啊。大伟兄的主页还有我们的链接,感谢!希望多多交流啊

    张大伟 发表:聚光镜光阑(Condenser Aperture):电子显微镜中最常用的光阑,用于限定电子束在样品上的照明区域,也用于限定照明角度。
    物镜光阑(Objective Aperture):用于限制由样品引起的散射角度,会影响像的衬度和分辨率。
    限场光阑(Field Limiting Aperture):用于限定样品上观察衍射花样的区域。
    入场光阑(Entrance Aperture):用于限定进入omega过滤器的电子束的直径。它的功能就是,当EM处于谱模式下,限定分析区域。如果光阑尺寸较大,那么能量分辨率不会高;反之,如果减小光阑尺寸,将提高能量分辨率但像会变暗。

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  • 第5楼2005/08/16

    聚光镜光阑应该就是减束限束光阑 (SPRAY APENTURE),在一级和二级聚光镜上使用。
    物镜光阑应该就是 末级透镜光阑,或者三级聚光镜光阑,(FINAL APENTURE)。
    限场光阑 和入场光阑我不清楚,看来是某个厂家的专利, 还有 OMEGA产品。
    看来我的问题问得还不错,把高手吸引进来了, 机会不可错过,让我再问。
    请问您指的能量分辨率是 我们常讲的能量谱分辨率吗, 如果是的话,大光阑应该可以比小光阑产生更多的计数,有可能会降低 分辨率,但可以通过调节脉冲处理时间(PROCESSING TIME)处理,还有,对于轻元素能谱分析,很多时候大光阑是必须的,这个问题在场发射电镜上更明显, 请继续指教。

    张大伟 发表:聚光镜光阑(Condenser Aperture):电子显微镜中最常用的光阑,用于限定电子束在样品上的照明区域,也用于限定照明角度。
    物镜光阑(Objective Aperture):用于限制由样品引起的散射角度,会影响像的衬度和分辨率。
    限场光阑(Field Limiting Aperture):用于限定样品上观察衍射花样的区域。
    入场光阑(Entrance Aperture):用于限定进入omega过滤器的电子束的直径。它的功能就是,当EM处于谱模式下,限定分析区域。如果光阑尺寸较大,那么能量分辨率不会高;反之,如果减小光阑尺寸,将提高能量分辨率但像会变暗。

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  • 第6楼2005/08/16

    其他的不知道,限场光阑应该就是选区光阑吧,用来选取一定区域进行电子衍射研究的。

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  • 第7楼2005/08/16

    从大伟兄用的英文来看没错 限场就是选区 就是2010右手边最下面的一个啦 聚光镜、物镜、选区光阑都知道 其他的就没有听说过了

    另外提到物镜光阑影响衬度和分辨率 影响衬度可以理解 但是是怎么影响分辨率的呢?是不是就只是因为衬度的影响?


    shxie 发表:其他的不知道,限场光阑应该就是选区光阑吧,用来选取一定区域进行电子衍射研究的。

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  • 第8楼2005/08/16

    关于物镜光阑影响像的分辨率,主要还是因为孔径角的原因,公式有两个,但具体是什么样子我记不清了,一个是根据瑞利散射,孔径角是在分母上为sin值,所以应该是sina孔径角的值为1时,分辨率最好;另一个就是大家知道的球差了,球差是孔径角越小,球差越小,分辨率越好。

    所以,综合这两个原因,取一个最优值,便能得到较好的分辨率。

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  • 第9楼2005/08/16

    斑竹不要客气,我的好多资料都是你提供的下载啊

    shxie 发表:太棒了,有些名词压根就是第一次听说啊。大伟兄的主页还有我们的链接,感谢!希望多多交流啊

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  • 第10楼2005/08/16

    对的,具体公式应该在那本讲扫描电镜的结构的书里面有的。

    张大伟 发表: 关于物镜光阑影响像的分辨率,主要还是因为孔径角的原因,公式有两个,但具体是什么样子我记不清了,一个是根据瑞利散射,孔径角是在分母上为sin值,所以应该是sina孔径角的值为1时,分辨率最好;另一个就是大家知道的球差了,球差是孔径角越小,球差越小,分辨率越好。

    所以,综合这两个原因,取一个最优值,便能得到较好的分辨率。

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