透射电镜（TEM）
第1楼2005/08/15
化学腐蚀双喷制样？你用HF酸溶解什么呢？Si基底吗？处理时候要小心，浓度不宜过大，处理后的样品要容易收集才好。
第2楼2005/08/17
用于半导体材料的oxide腐蚀还有准备用于junction以及implant area的etch
第3楼2005/08/18
半导体的处理我没怎么留意过，因为压根没有制样设备。不过你可以参考一本书：《金属电子显微分析》里面的样品处理应该有些可取之处的。
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