扫描电镜(SEM/EDS)
第2楼2005/08/23
这个的确没有考虑过,是因为要看大个的样品而又不想切割吗?
第3楼2005/08/23
是啊,萧文都很少来发言了
第4楼2005/08/23
这是大景深的主要用途之一 , 不过要配备大样本室 和 结实的样本台, 以及大功率的驱动马达等等。
第5楼2005/08/23
什么样的样品才用到大景深呢?半导体的晶元片?Philips原来XL系列是以样品室的大小为型号标记的,但30代表的是最大工作距离是30cm呢,还是x×y为30×30cm呢?打搅renxin一下,大家继续回答问题,呵呵。
第6楼2005/08/23
大景深 可以看大块样品, 广角可以看 半导体芯片。XL20是 20升的样本室,XL30是 30升, 还有 XL40。新型的QUANTA有200,400和600型, 分别表示 50X50,100X100和150X150的样本台 移动尺寸。
第8楼2005/08/24
我们用的电镜的最低倍数可以到15X,但随着电压的增加,这个倍数也会增加,在此顺便请教各位这是为什么?个人对这些要求不是很大,倾斜方面,样品台可以向探头方向倾斜90度,向另一方向(相反方向)倾斜10度,这基本能满足我们的要求,因为样品台可以旋转。
第9楼2005/08/24
低倍和大景深一般关联使用,很多电镜透镜分为高分辨模式和低倍模式,或者就叫大景深模式。低倍下观察的视野大,景深好,能很好的反映样品全貌,在生物、半导体、失效分析等应用很多。我还记得第一次看苍蝇时的兴奋劲。从性能考虑,低倍性能反映了物镜和扫描线圈性能。现在虽然大部分厂家都说能满足5~7倍,但那是在低加速电压和长工作距离下实现的,在能谱分析工作距离下,一般也就30倍。
第10楼2005/08/24
其他不论,为什么会是在低电压下倍数才能变的更小,视野更广呢?
第11楼2005/08/25
我觉得低倍下最主要的是找样品, 选择分析的区域比较方便.我见过Tescan的"鱼眼"功能,找样品还是很方便的
第12楼2005/08/25
哦,鱼眼功能是通过数码摄像头实现的呢,还是直接通过电子束实现?
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