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【讨论】AES表面蒸镀

七月冰

2009/10/19

XPS及其它能谱仪

我前一段时间遇到了一个AES测试的问题。
样品是非导电的球体，需要看表面N元素的分布。最终就是因为不导电无法测试。
但是我听说，比较先进的蒸镀设备可以在样品表面镀铱，颗粒比镀金要小很多，而且可以控制镀层厚度在一个原子层左右。另外还可以选择镀碳。
不知道论坛里有没有人在用这种设备，其性能怎么样？能不能做到那么精确的程度？

有没有做AES的高手，遇到过类似问题没有呢？

希望跟大家讨论交流一下，望高手支招！

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yuansu123456

第1楼2009/10/21

看N分布用xps就可以，为什么要用aes？
导电性不好，可以用电子中和枪进行电荷补偿，消除电荷效应，样品尽量制得小薄些就可以了

0

七月冰

第2楼2009/10/22

样品是多孔结构，球状，直径0.5-1mm，表面的孔径大概几十nm，怀疑表面N元素和孔内及附近的分布不一样，因此要用AES来查看N元素的分布是否有什么规律。由于样品本身已经很小，再制样不容易且易造成二次污染。
各种因素结合在一起，就觉得比较麻烦了
yuansu123456 发表:看N分布用xps就可以，为什么要用aes？
导电性不好，可以用电子中和枪进行电荷补偿，消除电荷效应，样品尽量制得小薄些就可以了

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