【讨论】扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜和电子探针的异同点？

我先说两个相同点：
1、都是用于表征材料组织结构形貌
2、都需要图像采集软硬件

這個有點難﹐一般應用者不會同時接觸到這么多的設備﹐要講這個不簡單.

等待高人～

扫描电子显微镜、透射电子显微镜 电子探针（通过加速电子为媒介间接看形貌，）
afm stm 等 探针扫描（近似直接检测表面

请专业人仕回复，大家都想知道！

从原理角度共同点：电子束的作用范围或者原子力或者隧道扫描的针尖扫描区域越小，放大倍数越高。

从原理角度共同点：电子束的作用范围或者原子力或者隧道扫描的针尖扫描区域越小，放大倍数越高。

1,成像原理
1.1扫描电子显微镜成像
极细的电子束在样品表面聚焦并扫描(是通过一种叫做扫描线圈的部件来完成的),这些高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子(背反射电子,X射线)等信号,这些信号分别被不同的接收器接收,经放大后用来调制荧光屏的亮度,电子束打到样品上一点时,在荧光屏上就有一亮点与之对应,其亮度与激发后的电子能量成正比,SEM是采用逐点成像的图像分解法进行的,光点成像的顺序是从左上方开始到右下方,直到最后一行右下方的像元扫描完毕就算完成一幅图像.同时,当入射电子流轰击到样品表面时,如果能量足够高,样品内部分原子的内层电子会被轰出,使原子处于能级较高的激发态.原子的激发态是过渡到稳态时,多余的能量便以光量子的形式辐射出来能量较高的X射线,其波长只与原子处于不同能级时发生电子跃迁的能级差有关.这些有特征波长的辐射将能够反映出原子的结构特点,特征光谱的波长只取决于样品组成元素的种类,是样品元素的特征谱线,反映了样品的成份和工作条件无关.
1.2原子力显微镜成像
大致过程如下:光电检测器将激光束转化成电脉冲,电脉冲信号经过计算机处理,然后计算机将这些信息转换成或明或暗的区域,这样扫描头在每一点(x,y)上的垂直位置被记录,作为样品表面形貌成像的原始数据,从而产生了有明暗对比度的样品的表面形貌图像,可得到样品表面的三维形貌图像.

简单的说它们之间最大的区别有以下几点：
1.分辨率，原子力分辨率最高达到原子级0.1nm，扫描电镜达到6-10nm。
2.成像：原子力得到三维立体的图像，
3.制样过程：原子力显微镜制样比较简单，对环境要求要低
4.实际作用：原子力显微镜最大的硬伤在于扫描速度和扫描范围不够大