透射电镜(TEM)
penguinle
第1楼2009/11/01
STEM是把电子束focus成很小来进行扫描的,如果你有probe corrector的话,电子束可以到1A或者以下,否则就要看你仪器以及STEM的调节了,有可能从2A到几个nm都有可能。EDS本来就是估算的分析,即使你electron probe很小,你的样品厚薄不同,interaction volumn也会差别很大,所以一般来讲,如果你的probe1-2A而且你的样品很薄,说分析的resolution大约是2-3纳米还是可以的。如果你想做更精确的分析,还是用EELS吧,试过signal可以控制在半个unit cell之内。
jwdeng
第2楼2009/11/01
哪位做过STEM下的EELS的线扫啊,能说说具体的操作步骤吗。FEI的工程师演示过一次,几分钟就搞定了,还没反应过来就已经做完了。看时觉得挺简单的,结果看完就忘了
第3楼2009/11/02
STEM的EELS linescan,也就是Gatan所说的SI,做起来不难,但是要得到好的结果不容易。你先画条线,然后用EF菜单或者Experient下面的spectrum image选项选择EELS,设好时间和取点的数量就可以了。
yufengko
第4楼2009/11/15
若您使用FEI(原Philips)機台,可切換至nanoprobe mode使用CCD接收beam 的影像,就可估算beam size
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