【讨论】背散射能谱

背散射和二次电子的转换改变的只是探头，对于真空度没有任何影响，个人觉得这和用能谱也没有什么影响。样品在电子束的作用下，二次电子，本散射电子以及特征x射线都被激发出来，只是用不同的探头来观测罢了。

可以用能谱，对仪器有伤害！

您的解释很对。

背散射电子探头和能谱配合使用是很重要的功能啊，怎么不能同时工作呢？第一次听到这样观点。

是啊，可能有些常识还不理解

背散射模式，跟真空没有任何关系，对设备也没有任何影响，只是多伸了个探头进去而已，事实上，所有能谱仪都提供二次电子和背散射电子图像模式。
当然，由于伸了个探头进去，而且要得到好的背散射电子像，需要把样品离背散射电子探头很近，这样可能导致在某些型号的电镜上能谱的几何关系不能满足，或者是探头对X射线的信号有所遮挡，从而采集到的信号不好。

在扫描电子显微镜中电子束对样品表面激发共产生三种信号，即二次电子，背散射电子，以及特征X射线。这三种信号采用三种不同的探头（或附件）可以同时采集，相互之间不产生干扰。

有些电镜的背散射探头体积比较大，还是有可能挡到能谱探头的

罗宾逊背散射探测器体积比较大，但从几何接收角度一般不会互相干扰！