【求助】真空蒸镀(JEE-420)的"DP Water"报警是啥状况啊？

扩散泵没有冷却开循环水报警

因冷却水没有打开或水压太低引起扩散泵过热而报警。

嗯 谢谢
直觉是这样 但是查了进水出水都哗哗的阿

那就是扩散泵应该加油了。

DP WATER 灯亮总共有三种可能性，第一种断水，你这里水流在流所以可以排除这种情况。第二种是水压不足，你可以看下你这里有没有漏水。如果没有的话可以测下水流量，JEE-420流量为一分钟2L。如果出水不足的话，可以把水管反接。这样可以清除420里面的水垢。还有看阀门VH-308-M的阀门是否正常。最后可能DP 泵过热

水流量不足,机台报警. 检查冷却循环水以及水流sensor吧!

也有可能是温度传感器出现故障。

赞同！
再注意一下水压检测器。