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【原创】FIB/SEM 能配能谱不？

fly-fall

2009/12/25

扫描电镜（SEM/EDS）

如题...近日见到了FEI新一代的NANOLAB系列SEM/FIB所照的照片，感觉极为震撼...单纯从参数上考虑，电子束时的分辨率比ZEISS ULTRA55 或HITACHI SU70更强。感慨万千啊~

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wildonkey

第1楼2009/12/26

当然可以。和sem上的一样，能谱只能配合电子束用，离子束几乎不能激发X光。
你指的是Helios系统吧，那么其最新一代的SEM Magellan会更让你感慨万千

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fly-fall

第2楼2009/12/27

对的，最近送了几个样品去试一下，感觉很不错。光从参数上看的话，HELIOS，尤其是600系列的SE分辨率可达到0.9nm,这是我见过的最高的了。比ULTRA55和SU70都强！不过没对比过真实图片，SU70做DEMO很麻烦。MAGELLAN会去看一下，不过估计也是天价
wildonkey(wildonkey) 发表:当然可以。和sem上的一样，能谱只能配合电子束用，离子束几乎不能激发X光。
你指的是Helios系统吧，那么其最新一代的SEM Magellan会更让你感慨万千

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分
该帖子已被版主-〓疯子哥〓加5积分，加2经验;加分理由:期待您将样品分析的过程与大家分享分享

golf

第3楼2009/12/27

Helios确实是好东西。就是太贵。

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