蓝莓口香糖
第3楼2009/12/31
我不是很熟悉Tecnai的光路结构,但是猜想场发射枪的设计应该大同小异。我记得听人说过gun lens就是A2,但是我认为实际起作用的是A1和A2的差值,通常不提A1可能是这个参数变动比较少。A1的作用是引出电子,但是电子被引出后也具有了一定的电势,要实现聚焦,需要一个低电势,这类似于钨灯丝的负偏压。Browning的参数也印证了这个想法。他用的引出电压是4.4,当gun lens是1.1的时候,可以起到聚焦作用,但是gun lens是4.5的时候,已经没有聚焦作用了。但是对于不同的工作模式,要注意是不是A1会自动发生变化。如果手边有场发射的Tecnai,可以验证一下。有人为了在STEM中得到足够的信号强度,会把A1调高,这时候直接比较A2就没有太大意义了。Browning选择1.1确实是兼顾束斑大小和信号强度,他称为是“优化”参数。但是他用的电镜比较特殊,多了一个单色器。尽管他可以关闭单色器,但是电子枪到聚光镜的距离仍然是增加了,所以A2聚焦后的第一个束斑的位置可能和普通电镜不同,所用参数可能也不同。我想FEI的帮助文件里是没考虑这个因素的。
至于STEM分辨率的问题,通常厂商给出的指标是有所保留的,用户应该能得到。如果变换各种参数都达不到,场发射枪的类型可能是个影响因素。但是Muller的Tecnai号称有0.16nm的分辨率,不知道他们怎么搞出来的,可能是极限。
对于聚光镜的问题,我觉得不管是什么设计,从会聚点欠焦都会得到比过焦状态更均匀的光斑,在衍射中也更容易得到衍射点。
iamikaruk
第5楼2009/12/31
我是这么认为的,调整gun lens对于信号强度的影响不如调整A1(extraction voltage)和C1(spot size)的影响那么大,但是对第一级束斑尺寸的影响比较大。一些F20用户的经验是调整C1对于束斑优化不大,所以真正决定束斑质量的可能是gun lens。A1和A2是两个独立的模块,起码在FEI电镜中是这样子的,你可以调整A1得到更高的亮度,但是束斑质量不一定很好,也可以得到好的束斑,而亮度不够,另外还可以调整C1来做两者之间的平衡。先不管Browning他们用的是不是单色器,但起码这个gun lens是合理的,对于任何电镜来说做STEM都应该用比较弱的gun lens。而我所认为不合理的地方就是FEI的手册中明确说明了强的gun lens用于scanning。像penguinle所说的用6以上的gun lens,在网上找到的一些F20的manual也是大概这么说的,在FEI的手册里面查出来这得有3 kv的电压了,这“理论“上是十分不合理的。
聚光镜的那个问题我再去其它电镜上做做看,因为我以前一直认为overfocus是近平行光,underfocus是会聚光。
iamikaruk
第6楼2009/12/31
请看werwerg的回帖,工程师推荐的gun lens是3...这个是“理论“上更为合理的设置
iamikaruk
第8楼2009/12/31
iamikaruk
第11楼2010/01/01
你的说法是对的,FEI还有细分分析STEM和HRSTEM,不同的STEM用途他们有不同的A2和C1组合。但是我现在疑惑的是HRSTEM,他们也用的是比较高的gun lens,而不是用一个低的gun lens。