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【求助】求助： Final lens 和 immersion lens的区别是什么？

HNR2323

2010/01/10

扫描电镜（SEM/EDS）

看资料时看到说，一般解析度的用Final lens，而超高分辨的用immersion lens
不知Final lens 和 immersion lens的分别安装在电镜的什么位置，其收集信号的方式有何不同？
另外还有个疑问，观测时的beam shift指的是什么？
恳请各位大侠指点，不甚感激！！！

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fengyonghe

第1楼2010/01/11

下面图中可以看到Final lens的安装位置，immersion lens是浸没透镜的意思。是一种静电透镜。beam shift是电子束平移，用于微调电子束的对中。
liuning2323(liuning2323) 发表:看资料时看到说，一般解析度的用Final lens，而超高分辨的用immersion lens
不知Final lens 和 immersion lens的分别安装在电镜的什么位置，其收集信号的方式有何不同？
另外还有个疑问，观测时的beam shift指的是什么？
恳请各位大侠指点，不甚感激！！！

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HNR2323

第2楼2010/01/12

谢谢2楼的解答
不过收集信号的方式有何不同还是不太明白

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fengyonghe

第3楼2010/01/14

请到这地方，有详细讨论：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20070417/807934/index.shtml
liuning2323(liuning2323) 发表:谢谢2楼的解答
不过收集信号的方式有何不同还是不太明白

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