【求助】请教各位怎样拍出大角度的SEM图（附图）

你样品是平着放着的吗？那样旋转样品台是不行的，要倾斜样品台才能得到这种效果，或者把样品粘在一个倾斜的样品托上看。

wallance29(wallance29) 发表:我在光刻胶上做了个微透镜阵列，想用SEM拍出来，可是拍的全是俯视的图，把样品台旋转了很大的角度还是俯视图，不知道怎么回事，所以请教各位！

我想照出斜视的图，例如下面

我的样品是粘在一个倾斜的样品托，不过倾斜的角度不大，然后也尝试过倾斜样品台，可看起来还是垂直的俯视图。。。。

我推测b图的样品倾斜角度大约是 75°以上，图片应该不是楼主照的！
如果透镜俯视是圆形的，那么倾斜后投影应该是椭圆形，根据长短轴比例可计算出倾斜角度！

楼主如果要照出倾斜效果，肯定要倾斜样品台的，样品台倾斜是有一定方向性的，可能必要的话，要保持和样品托倾斜一致。可以多尝试几次。楼主一定要注意工作距离和Z轴，小心别让样品撞到上面的背散射探头。

如果你不想倾斜样品台，就用倾斜补偿，从数学角度直接变换图形投影！

这种变换的效果是椭圆形的正视图。还是要大角度倾斜辅以动态聚焦。

取消倾斜补偿，应该能看出倾斜的效果。说明你的镜子倾斜校正功能还是不错的嘛。呵呵

是否关闭了倾斜补偿！

感谢各位好心人，我会去再试试的，我用的是Oxford instruments的产品