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蔡司sigma 300 振动解决方案

麦弯梦

2017/02/17

扫描电镜（SEM/EDS）

由于在电子显微镜镜筒中飞行的带电粒子束极易受到外界干扰，从而使得到的图像扭曲变形，所以无论透射电子显微镜还是扫描电子显微镜都对周围环境有较高的要求。磁场、震动、噪声以及电源等都可能会干扰带电粒子束的正常运动轨迹,影响电子显微镜的实验结果（但不会使电子显微镜本身受到损坏）。所以，一般认为可能对电子显微镜产生干扰的来源有磁场、震动、噪声、电源及地线这五个方面，通常要根据电子显微镜实际安装现场的具体情况采用各种方法来改进。不同厂家的电子显微镜对周围环境的要求是不同的。即使是同一厂家，但不同型号的电子显微镜对周围环境的要求也是不同的，没有统一标准。一般厂商都会在安装电子显微镜之前，对将要安装电子显微镜的场地进行专门检测。如果周围环境不能符合要求，则应该采取适当措施解决或改善。尤其是在电子显微镜开启到高功率使用，放大倍数逐渐增大时，这种现象会更加明显，导致几百万价格的高端电子显微镜只能达到十几万的性能标准，造成极差的用户体验，对实验研究造成很大的影响。
2016年10月，南昌大学采购一台蔡司ZEISS sigma 300场发射扫描电镜，经蔡司工程师对环境进行测试后，结果显示振动超标。由于我公司也在南昌，并且和南昌大学有长期合作关系，所以先找到我们江西连胜科技有限公司，由我们来出振动解决方案，经我公司技术人员对sigma 300的振动要求进行研究，制定了如下方案：在电镜的底部使用我公司根据实地环境和sigma 300扫描电镜定制的VCM型主动隔振系统，可以对特定低频有一个较大的衰减，使振动速度的总有效值降低到0.004mm/s，远低于一般电镜的标准0.03mm/s。并且在2HZ时的衰减达到-20dB，即衰减90%以上；在10HZ时衰减达到-45db，即衰减99%以上。完全可以把超标的振动衰减到要求范围之内。用户即使在最大功率和最大放大倍数下使用电镜成像也毫无问题。安装完成后如下图：

经过四个月的使用，近期回访，老师对我公司的VCM主动隔振系统非常满意，表示完美解决了振动问题，目前电镜使用完全不受振动影响。感觉比原先放在地下一层电镜室的环境还要好得多。多谢老师的使用和赞誉，也多些这些年使用我公司产品的客户对中国制造的支持。
下图为我公司主动隔振系统的传递率曲线图，供大家有个直观的了解。

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