【求助】用EBSD看金相要注意什么？

电子背散射衍射（Electron Back-Scatter Diffraction，简称EBSD）技术是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出的衍射菊池带的分析确定晶体结构、取向及相关信息的方法。入射电子束进入样品，由于非弹性散射，在入射点附近发散，在表层几十纳米范围内成为一个点源。由于其能量损失很少，电子的波长可认为基本不变。这些电子在反向出射时与晶体产生布拉格衍射，称之为电子背散射衍射。大家知道，晶体材料的微观组织形貌、结构与取向分布、成分分布是表征和决定材料各类性能的关键，缺少一类信息就有可能使我们难以解决某一材料问题。基于EBSD技术的取向成像分析更是获得非常丰富的内部信息。从一张组织形貌像中，我们仅能获得晶粒大小、形状及分布的信息，即使经图像分析系统处理，也只能得到与形貌相关的定量信息。而取向成像可提供远多于这些的信息，除各种形貌类信息外，还有各晶粒的取向，不同相的分布，晶（相）界的类型甚至位错密度的高低等定量信息。因此，EBSD技术能揭示出很多直接观察难以得到的信息，它对我们全面认识材料制备过程机理和本质至关重要。

感谢楼上朋友的介绍，这是基本的EBSD的介绍，我想问的是具体操作过程中的一些问题。谢谢

EBSD是分析晶粒的，晶粒与金相组织是两个完全不同的概念。

正常金相制样，抛光要更精细一些，最好用电解。尽量没有划痕就好了。也可以轻腐蚀。但是我个人认为最好是做单相或者双向材料，对于索氏体，贝氏体效果不好。

实际上，EBSD在进行分析的时候，是有一定的扫描步长的，它既可以认为是晶粒分析，也可以是相的分析，就看你偏重哪方面的信息了。也就是说没必要严格说EBSD是分析晶粒还是相组织。

把EBSD当金相用，有点过于奢侈了

同意6楼意见

晶粒（crystal ）grain，相phase，金相 metallographic在金属学原理上有比较严格的区分。EBSD分析有两个主要的功能，即OIM（晶粒分析）和PHASE ID（相分析）。扫描步长的设定主要是为了获得图像的精度，类似于EDS mapping中的像素。

同意楼上说的