EDS/EDX/XPS有什么区别和联系

EDS是对能量散射x射线谱的国际标准称谓，而EDX则是谱学。EDS的原理我想不用细讲，是电子束和样品作用，原子的电子发生跃迁，有能量差作为特征X射线放出。

XPS是X光电子能谱，是通过X射线的光子携带的能量给原子的电子能量电离，原子成为离子状态。
具体的解释可以看电子能谱学的讲义（我的资料里有）或者一些书。XPS对于表面的元素价态组成的表征很强大。可惜论坛没有电子能谱学。

浏览了一下，只显示提供的服务～～
没有显示3者的区别与联系哦～～

XPS是X-ray Photoelectron Spectroscopy（X光电子谱）的字头，由入射光子在物体表面激发出光电子谱。
EDX和EDS实际上都是X光谱，一回事儿，都是Energy dispersive X-ray Spectroscopy的缩写，看你如何取字头了。我的感觉，EDX多用于English，而EDS常见于American，但也不见得完全正确。还从未见人用过DEXS。

长见识了
你们能否对他们的用途说明一下，比如给出几幅图举个例子！

精度区别吧 XPS一般是独立的仪器吧

张了不少知识啊

谢谢

EDS能谱,能快速对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。可进行定量和定性分析.
XPS的分析定量分析更精确,分析样品的厚度只有几纳米,适合表面元素分析.

好多人都在问EDS和EDX的区别，这下可以回答他们了
呵呵

==================

完全同意，EDX和EDS是同一会事，不同的叫法。