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【求助】能谱结果及 coating机抽真空的时间

rpgads

2010/03/24

扫描电镜（SEM/EDS）

1.如上图中，红框部分是什么意思？重量百分数是以什么为基准算的？（Horiba）

2.再者，我的Pt－Pd Coating机抽真空的时间比以前长了很多，有没有维护办法？（日立E－1045离子溅射机）

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fengyonghe

第1楼2010/03/24

答案：影响因素比较多，有抽气效率问题也有漏气问题，要逐级排除。
rpgads(rpgads) 发表:
1.如上图中，红框部分是什么意思？重量百分数是以什么为基准算的？（Horiba）
答案：

这是无标样定量分析的归一化结果，用的是系统标样。百分含量的计算基准是系统标样的计数率。再进行ZAF校正，经归一化后得到结果。所以在开始实验之前要求首先进行最优化，以使系统标样的实验条件调整到当前实验的条件上来。

2.再者，我的Pt－Pd Coating机抽真空的时间比以前长了很多，有没有维护办法？（日立E－1045离子溅射机）

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rpgads

第2楼2010/03/26

十分感谢。

系统标样的计数率是什么意思？为什么不用原子数含量结合原子量来计算？

另外如果是抽气效率低有些什么原因呢？多谢！

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