【讨论】EDS定量半定量问题

第1个问题. EDS是半定量测试手段，那么它的准确性到底是怎样的？比方说“Fe”含量半定量结果打出来是20％wt，那么真实含量就是这个值左右吗？
左 右那分别又是左右多少各百分比范围内呢？
关于这个问题，我把培训资料的一段抄给你，你看如何：
无标样定量：重量百分数＞20%允许的相对误差≤±5%
重量百分数3%～20%允许的相对误差≤±10%
重量百分数1%～3%允许的相对误差≤±30%
重量百分数0.5%～1%允许的相对误差≤±50%
1. 不平坦试样，可用三点分析的平均值表示，或在总量误差小于等于±5%的情况下，如果确认没有漏测元素时，允许归一化作为定量分析结果。
偏差大于±5%，只能作为半定量结果。
2. 无标样定量：重量百分数50%，准确度（这里指绝对误差）约为2.5% 。 任何谱仪B,C,N,O等超轻元素准确度都较低。
3. 有标样定量：大多数元素的准确度近似1%或更好。如果元素含量50%。则准确度为0.5% 。超轻元素的准确度可以达到百分之几。B元素结果
较差
第2个问题. EDS是半定量测试手段，有了标样就可以准确定量吗？那么这个标样又有什么样的要求没有呢？
对标样的要求可以查阅标样的相关的标准。
第3个问题. 对于一个化合物，如果共有三个元素组成，是不是用标样校准了其中两个元素，第三个元素就不用校准也是准确的了呢？
所有元素都要同时使用标样。如果第三个元素不准，归一化后前两个元素也就不准确了。

谢谢楼上，我也一遍学了

谢谢专家耐心的解答，受教了！

太有用了，最近正在考虑这个问题呢。多谢啦！

最近刚接手一台S4800对这个能谱还不太会用。

谢谢，我也一遍学了

无语呀！这误差！

还有一个会带来很大误差但容易被忽略的问题是被测相不够大。因为能谱的分辨率很低，粗略地说2μm左右。则被测相直径要大于2μm才行。2μm放大到1000倍就是2mm.5000倍就是10mm.可是，我们经常在高倍下测量第二相的成分，却很少注意到被测相是否足够大。结果是不能真实反映被测相成分，甚至于基体成分占了绝大部分。

哈哈，这个注意了。虽然简单，但却很有用，谢谢