【求助】XPS电子能谱与能量散射X-射线光谱仪EDXA的区别

1，两者的本质不同点在于：xps接受的是电子信号。EDX接受的是特征x射线，且其对轻元素不灵敏，小于C得元素不能被EDX 检测。
2。信号深度不同，正如楼上所说的，EDX信号来自微米级深度。
3。EDX有时候会出现合峰，逃逸峰（Li漂移Si检测器本身缺陷，无法避免）等，xps则没有
4。使用的信号激发源不同，Xps用x-ray，而EDX用电子束
5。EDX对表面污染不灵敏，样品制备要求不严格，用手触摸样品表面，一般不会影响edx分析结果，而xps则不可以
6。对于不导电的样品，edx无能为力，xps则毫无问题。
7。一般情况下，无需同时作，xps是更高级的表面分析仪器，远胜过edx在成分分析方面，但是要分析一些微小区域（如亚微米级），xps则无能为力，只有用edx了