【求助】求助几个SEM的专业问题，恳请专家指教！

[quote]原文由 hexi_lemon(hexi_lemon) 发表:首先谢谢各位专家了！问题如下：
1.用SEM做元素分析定量能准确吗？，如不能，失效分析的原始鉴别是用的什么方法啊？一般定性时能做到C吗？
看样品。如果是比较平整的、大块的还是挺准的。如果是在纳米材料上定量，那就没办法干扰太多。C一般都会有一点污染嘛，也有处理得比较好的会做得很好。
2.SEM配波谱与能谱那个更好一些啊？目前用波谱的很少（据说），是不是因为波谱太贵了？
各有各的优势，能谱快速通用一些，准确度差一些。波普正好相反。波谱很少用是条件限制比较多，还有时间等原因。现在有许多联用的把这两个结合起来运用很不错，就是价钱比较贵
3.目前选购能谱的话，厂家会让选择电制冷还是液氮制冷，请问选择的依据应该是什么啊？
电制冷越来越多，渐渐取代液氮了
4.油扩散泵（DP泵）与涡轮分子泵（TMP泵）相对优势各是什么？应该如何选择啊？厂家说TMP的抽气能力不如DP，并且寿命也短于DP，维护费用很高要20w。请教各位了！谢谢！
DP就是寿命高（基本是无限寿命）、维护简单，其他都是涡轮的好。如果够用对污染要求不高选用DP比较实惠放心。具体维护费用是不是高20万不好说，其实在扫描电镜上许多数据说的太精确的都不是太懂行的。呵呵。我的感受
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1.    用SEM做元素分析定量能准确吗？，如不能，失效分析的原始鉴别是用的什么方法啊？一般定性时能做到C吗？
无标样定量分析，重量百分数的允许误差：
重量百分数＞20%允许的相对误差≤±5%
重量百分数3%～20%允许的相对误差≤±10%
重量百分数1%～3%允许的相对误差≤±30%
重量百分数0.5%～1%允许的相对误差≤±50%
1不平坦试样，可用三点分析的平均值表示，或在总量误差小于等于±5%的情况下，如果确认没有漏测元素时，允许归一化作为定量分析结果。偏差大于±5%，只能作为半定量结果。
2无标样定量：重量百分数50%，准确度（这里指绝对误差）约为2.5% 。 任何谱仪B,C,N,O等超轻元素准确度都较低。
3有标样定量：大多数元素的准确度近似1%或更好。如果元素含量50%。则准确度为0.5% 。超轻元素的准确度可以达到百分之几。B元素结果较差
目前能谱仪可以做到Be、B、C 、O等。
失效分析如果牵涉到微区成分分析目前主要还是要依靠能谱分析。
2.    SEM配波谱与能谱那个更好一些啊？目前用波谱的很少（据说），是不是因为波谱太贵了？
波谱虽然精度高，但波谱分析费时费力，效率很低。失效分析中微区成分分析多数情况下并非要求很高精度。如果要求较高精度可以用有标样定量分析或采用波谱做。如果要在断口上做微区成分分析，能谱分析更显示了适用性，波谱是不能做的。
3.    目前选购能谱的话，厂家会让选择电制冷还是液氮制冷，请问选择的依据应该是什么啊？
如果液氮来源不成为题，还是选用液氮制冷。电制冷的成本高也容易出故障。
4.    油扩散泵（DP泵）与涡轮分子泵（TMP泵）相对优势各是什么？应该如何选择啊？厂家说TMP的抽气能力不如DP，并且寿命也短于DP，维护费用很高要20w。请教各位了！谢谢！
油扩散泵的主要缺点是可能污染真空系统。

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非常感谢linzq的热心帮助，谢谢，恭祝一切顺利！