扫描电镜（SEM/EDS）
驰奔
第1楼2010/05/27
这种材料硬度都可以，所以刀割并不见得能得到好结果，而且镀膜很薄一般厚度微米以下，甚至纳米级，用刀划完了也就把最边缘的膜层给破坏了。利用其容易碎的特点，把其放在平台上，用锐利的铁锥戳碎，取离破碎中心较远的断口来表征。
ajun301
第2楼2010/05/30
这个简单，就用钻石刀轻轻划一刀，记住不要贯穿样品，用手掰开，观察没有被钻石刀划到的那部分就可以的。我在观察LCD面板TFT侧（玻璃基板）各层膜厚的样品都是这样做的，而且是每天每天几十几百个的裂片。
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