【求助】目前SEM的最高分辨率达到多少？

我觉得对扫描电镜来说。具体的分辨率数据是没有什么意义的，因为无法去验证，没有科学的标样来验证这个数据。对扫描电镜来说用一个模糊地分辨能力来说还好一点，分辨能力那个强比较科学。模糊地才是科学的。从分辨能力来说日立的S5500应该最强。据说是4800的极限对它来说是一个小儿科。不过由于样品要放进物镜中所以要求比较苛刻。不是常规样品观察使用的工具。特别是对于易磁化样品根本不能用

同感~但其样品制备比起TEM来还是简单了很多...有个问题，几乎不能做分析用，EDX空间分辨率低

普通SEM的极限分辨率应该是3nm-5nm

中高档钨灯丝枪扫描电镜的分辨率在3-6nm左右，场发射枪扫描电镜的分辨率在0.8nm左右。不同的生产厂家生产的不同枪体的扫描电镜分辨率是不同的，都有自己的设计指标。

0.8nm不是所有的FEG都能达到的...嘿嘿，也算是FEG中极高端的玩意儿，还要和电子枪的设计综合考虑，估计都要用到两级聚光镜了

学习了，谢谢

应该是日立S5500吧？？

你们都错了，是日立H-3000全世界就一台在大坂大学研究中心。加速电压可达到3。5MV

是日立的H3000