X射线衍射仪（XRD）
xiaochong98
第1楼2010/05/29
d低角度分不开，高角度可以看到。
jidzhang
第2楼2010/05/29
测试薄膜的最关键问题在于对准样品。
westlover
第3楼2010/06/02
您的意思是一定要保持试样面水平吧？
第4楼2010/06/02
高角度的时候，（70°）2seta 有没有可能差0.5°？
第5楼2010/06/05
样品的高度也很关键，要保持样品表面恰好处于光路中
ycuijj
第6楼2010/06/09
首先2theta对零，其次样品台前后伸缩z方向调整到光能量切掉一半，然后调整w、phi 角度范围0.1-10足够，步长0.002-0.01 速度0.5好，0.1差。可采用正反测，多次测消去角度偏移。目前大家膜厚测量的精度有多少？
第7楼2010/06/13
如果用软件拟合的话应该是0.1nm
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