【讨论】背散射电子像对原子序数的敏感度

有仪器公司的指标说是可以区分原子序数差异为0.1的不同相组成。

以下是我见过的罗宾逊背散射探测器指标。
性能指标
探测晶体类型：广交闪烁体、光电倍增器背散射式电子探头
信噪比：5：1 1PA ,8kv 二次电子图像信噪比，在加速电压15KV以上时（平坦无倾斜样品）
最小工作距离： 6mm
有效加速电压范围：3KV以上，也可以在1KV形成图像，增强的低电压性能可获得低至500v以下的图像。
空间分辨率：2nm 场发射扫描电镜
5nm 钨灯丝扫描电镜
原子序数分辨率：0.003Z 在钨灯丝扫描电镜中，
0.005Z 在场发射扫描电镜中

因为随着原子序数的增加，背散射电子反射率上升的斜率减小，因此随原子序数增加，原子序数反差降低。
我这里的数据：Al 和Si 原子序数反差为6.7%
Pt 和Au 原子序数反差为0.41%
扫描电镜可以观察到的反差为0.1%

因此我认为背散射探测器的指标 应该标识原子序数范围。
假如低原子序数分辨率为0.003z，那么到了高原子序数由于反差减小，再要求0.003Z显然不科学。

背散射探头怎么还有空间分辨率这个指标？这不是应该只跟电镜本身有关的吗？
场发射枪的原子序数分辨率比钨灯丝差？我觉得不应该呀。
我猜测原子序数分辨率决定于探头的敏感度，这是个硬性指标，反映到反射产额曲线上就是纵轴上的产额差。只有这个差值大于某个界限的时候，图像上才会有变化。因为曲线斜率岁原子序数增大而减小，所以在高序数区，要得到同样的产额差，叙述变化就要更大，也就是能量分辨率会变差。从这个方向考虑，原子序数分辨率岁z增加是有道理的。