【求助】eds如何测定o含量

能谱做氧不容易，误差会比较大的。而且氧化层的截面很难磨的平整，也会影响定量，而打表面，又很难打得很深，定量没有代表性。
建议拿一个Fe2O3做标样来标定，会改善定量结果，而且制样时尽量磨平些。

刚看到这帖子,麻烦楼上说细一点,我也想了解

元素序号在10以下的，EDS就是测得出来，数据可信度很低
EDS本来就是半定量，数据的可信度不高，只能作参考用

能谱测量范围是微米级的。不知你的钢铁表面的氧化层厚度是多少，而氧化层又分为三层：三氧化二铁、四氧化三铁、氧化铁。能谱精确测量是不可能的，建议你在横截面上做面扫描观察氧含量的变化。

EDS测定氧含量不好，改用氧测定仪、氧氮分析仪吧！

宝钢的专家有一次用EBSD把氧化皮中的各个相区分开了，很漂亮的结果。

你知道具体如何做的吗？有氧化皮的样品按说导电性很差，ebsd很难做的

本身EDS测试元素就不准确，只能做参考，测试氧元素更加不准，那个段位有很多个元素都在它附近。