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【求助】EBSD中的背景问题

  • tianya2008
    2010/06/17
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 各位大侠们好,我最近接触EBSD用于相分析,但是在实验中发现一个问题,在低倍下取完背景,没有菊池花样,但是等我放大倍数以后,在还没有取点分析的情况下,菊池花样就很明显。在这种情况下,做出来的相的锯齿花样会有重叠,请问各位这个问题怎么解决,先谢谢了。
    怕说不清楚,特上照片一张,这是在高倍下做的锯齿花样,似乎有两条线重叠在一起:
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  • phdmater

    第1楼2010/06/17

    扣背底要在较低的倍数下完成,扣背底就是扣除分析区域周围的噪音影响,故此不能在太高倍数下操作。一般扣背底的倍数放大至要分析样品的整个表面在接近SEM图像全貌的倍数。不知道你的倍数有多高?从情形看你的样品晶粒尺寸不小,才会有这种高被下背底重影。

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  • phdmater

    第2楼2010/06/17

    此外,标定花样前需要精细校正,否则容易误标。EBSP的标定分辨率不高,空间分辨率不高,与SEM的背散射电子信号分辨率一致(约5nm~2um),且钨灯丝和场发射的也有差别;花样识别的角分辨率在0.5~2°,其实一般都大于1°的。

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  • tianya2008

    第3楼2010/06/25

    低倍和高倍下,我都取过背景,但是结果没有很大区别,也不知道是为什么?我的合金和Al-4.5%Cu铸造合金,晶粒尺寸是有些大。那请问在这种情况下,该怎样才能消除这种背景的影响,而最后的菊池花样不出现重叠呢?谢谢。

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  • phdmater

    第4楼2010/07/02

    有几个参数可以考虑调整试试,工作距离WD,加速电压,光阑大小,尤其是探头距离。

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  • tianya2008

    第5楼2010/07/06

    加速电压是20kv,工作距离WD是20,spot size 是60, 探头距离是175.这些值都是电镜老师还有技术人员设定的,貌似也是比较好的参数。想请问一下,这里面的哪个值需要调整,还请告知,谢谢。

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  • phdmater

    第6楼2010/07/12

    这些参数都是懒人参数,真要做的精确的话,不同样品都需要各自校正的。

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