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加速电压与电子束能量的关系

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 大家好，最近在研究扫描电镜原理方面的知识，有一点不太理解，还请大家帮忙解答！！！
    Q：通常情况下，选择高的加速电压，电子束能量高，探针电流大，但现在的电压和电流在用户界面上都是可以独立调节的，即选择高电压的同时，也可以选择小的电流，那这个时候的电流是不随电压变化的，那么问题来了，这个时候的电流是靠什么调节的？？？是光阑吗还是其他什么？
    问题引申：通常讲的电子束能量高低，指的是束斑尺寸还是电子束的速度，还是指波长短？或者，三者兼而有之？？？亦或是其他？
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    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第1楼2015/11/19

    独立调节电流，调节的是会聚镜的电流，与高压无关。会聚镜在镜筒靠下部的位置，高压的调节在镜筒最上部的电子枪内部。电子的能量与电子速度和质量有关，用千电子伏特Kev表示。高压越高，速度快，波长短，能量高。一般的书上都有讲解。

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    +关注 私聊

  • 拱廊

    第2楼2015/11/19

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:独立调节电流，调节的是会聚镜的电流，与高压无关。会聚镜在镜筒靠下部的位置，高压的调节在镜筒最上部的电子枪内部。电子的能量与电子速度和质量有关，用千电子伏特Kev表示。高压越高，速度快，波长短，能量高。一般的书上都有讲解。
    谢谢你的解答，那么我可以把独立调节电流的操作，理解成增加电磁透镜的汇聚和光阑缩小束斑尺寸吗？

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    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第3楼2015/11/19

    是的，是这种关系

    拱廊(v3052164) 发表:

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