【原创】常见表面分析方法

探测粒子    发射粒子    分析方法名称    简称    主要用途






电子    电子    低能电子衍射    LEED    结构
    电子    反射式高能电子衍射    RHEED    结构
    电子    俄歇电子能谱    AES    成分
    电子    扫描俄歇探针    SAM    微区成分
    电子    电离损失谱    ILS    成分
    光子    能量弥散X射线谱    EDXS    成分
    电子    俄歇电子态势谱    AEAPS    成分
    光子    软X射线出现电势谱    SXAPS    成分
    电子    消隐电势谱    DAPS    成分
    电子    电子能量损失谱    EELS    原子及电子态
    离子    电子诱导脱附    ESD    吸附原子态及其成分
    电子    透射电子显微镜    TEM    形貌
    电子    扫描电子显微镜    SEM    形貌
    电子    扫描透射电子显微镜    STEM    形貌



离子    离子    离子探针质量分析    IMMA    微区成分
    离子    静态次级离子质谱    SSIMS    成分
    中性粒子    次级中性粒子质谱    SNMS    成分
    离子    离子散射谱    ISS    成分、结构
    离子    卢瑟福背散射谱    RBS    成分、结构
    电子    离子中和谱    INS    最表层电子态
    光子    离子激光X射线谱    IEXS    原子及电子态




光子    电子    X射线光电子谱    XPS    成分
    电子    紫外线光电子谱    UPS    分子及固体的电子态
    电子    同步辐射光电子谱    SRPES    分子、原子及电子态
    光子    红外吸收谱    IR    原子态
    光子    拉曼散射谱    RAMAN    原子态
    光子    表面灵敏扩展X射线吸收谱细致结构    SEXAFS    结构
    光子    角分解光电子谱    ARPES    原子及电子态、结构
    离子    光子诱导脱附    PSD    原子态


电场    电子    场电子显微镜    FED    结构
    离子    场离子显微镜    FIM    结构
    离子    原子探针场离子显微镜    APFIM    结构及成分
    电子    场电子发射能量分布    FEED    电子态
    电子    扫描隧道显微镜    STM    形貌
热    中性粒子    热脱附谱    TDS    原子态
中性粒子    光子    中性粒子碰撞诱导辐射    SCANIIR    成分
    中性粒子    分子束散射    MBS    结构、原子态
声波    声波    声显微镜    AM    形貌