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【求助】拉曼检测薄膜最少能到多厚？

  • xiaoyu4048
    2010/06/18
    • 私聊

拉曼光谱

  • 硅上用磁控溅射的方法镀的氧化锌薄膜，厚度在80个纳米左右，用renishaw rm2000 做测试，只能得到硅基体的峰，是不是因为薄膜的厚度太薄了呢？可是看到一些文献上拉曼甚至还可以检测30个纳米的薄膜，他们又是怎么做出来的呢？初学拉曼，期待提高，希望各位高手多多指教，万分感谢了
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    +关注 私聊

  • shengsh

    第1楼2010/06/21

    拉曼光谱仪纵向的分辨率是2um左右，因此要测80nm厚的薄膜，需要很有经验才对，
    等待高人指点

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  • lingbo225764

    第2楼2010/06/22

    这个确实很难测到，我觉得楼主尽量狂采点吧，文献上也并不是每个点都有信号的吧。

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    +关注 私聊

  • 拉曼论坛

    第3楼2010/07/01

    1、使用短焦100倍物镜
    2、可以尝试使用扩束器将光斑扩大（效果不好可以不用）
    3、尝试用尽量短波长的激光（短波长的激光的穿透深度浅）
    4、加大积分时间和累积次数
    5、使用共焦模式，例如狭缝变小，CCD像素变少

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