【求助】日本电子扫描电镜6460LV真空问题

不会是泵坏了吧！

机械泵发热比正常情况厉害，感觉烫手了。
现在的情况就是evac(扩散泵抽取)时间太长了。

夏天温湿度高，先检查环境。要求正常
预抽4分钟基本正常，说明机械泵和真空管路密封正常。
19分钟可以达到“工作真空”，说明该电镜真空控制电路肯定出了问题。

扩散泵的真空效率非常高，一般1-2分钟即可达到0.001pa，因此如果扩散泵正常，
不管软件有没有显示真空到达与否，实际5-6分钟之内已经到达了工作真空。

只不过，没办法开机而已。

国产电镜有个好处，就是随时可以开机。而进口的电镜似乎不行。-

多说一下真空系统配置。
一般”高档“扫描电镜都配有全量程真空规，即低真空规+高真空规。真空泵和逻辑阀门按照真空规提供的数据指令反应动作，操作者基本上时刻确切知道真空度。这里高档是带引号的，也特指涡轮分子泵真空系统。全量程真空监测，有利于保护比较贵而脆弱的涡轮分子泵万无一失。

油扩散泵比较皮实，单机价格相对低的多，工作原理注定了其真空效率是固定的，往往不需严格保护和测量，高真空规在这里显得多余，还费钱。更重要的是，高真空规一般使用潘宁规，在扩散泵真空系统中容易污染，实际真空度越来越低，但给电器的指令确是已经达到，造成真空检测不准，反而对电镜有害。

也有油扩散泵采用全量程真空规，但这些厂商等到出了问题的时候会告诉你，潘宁规需要1年至少维护一次（用户往往没有维护经验）或者建议用户直接换新的。把真空规当做耗材来卖。

基于以上原因，传统扩散泵真空系统电镜都不配置高真空规，而是采用一级低真空规，低真空达到后启动扩散泵抽高真空，工作真空度是否到达，只需用延时器模拟控制即可。

楼主的电镜一定是真空延时电路了问题。如果工程师过去，可能一刻钟就给你弄好了。

如果泵坏了，真空度不够，图像会出现异样问题。最终还是需要人来通过图像和操作来判断。

感谢您的分析。
令我收获很多。多谢多谢。等问题解决了再来讨论一下经验

既然是LV Mode,可以切换到低真空模式下确认真空系统状态，如果LV模式下可以达到Ready状态，则可以确定是样品室真空异常。不太赞同是真空泵故障，还是真空系统有微漏的地方，请借鉴！

应助达人

检查下循环水位和泵油位，是否过低。
更换下泵油，看是否会有改善。

应该可能。问问工程师啊。