ICP-MS
秋月芙蓉
第1楼2010/07/03
有问题可以发帖讨论，大家共同分享哦
klbb778
第2楼2010/07/03
貌似秋月同学长期在线的哦，想请教下多晶硅表面金属杂质国标中SEMI C35 SEMI C28 SEMI C30 ASTM指南D5127中描述的E-1型是些什么标准，有知道的朋友帮忙解答下，谢谢了先！
第3楼2010/07/04
相关同行请帮忙解答哦。
nps
第4楼2010/07/04
SEMI C35、SEMI C30、SEMI C28、ASTM D5127是国际半导体设备材料产业协会(SEMI)和美国材料与试验协会(ASTM)发布的标准，规定了各等级硝酸、过氧化氢、氢氟酸和纯水的杂质含量水平。
第5楼2010/07/05
我知道这些都是标准，但是有人可以告诉我这些标准代表的是什么意思嘛？我在网上查好久都查不到.
popo
第6楼2010/07/21
所谓的这些标准，貌似都要花钱才能够买，国内半导体厂家把资料看的比自己的口袋还严实，一般不会有文件流出来的
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