【求助】SEM电子束电流不稳定，是什么原因？希望高手给予指点！谢谢

这个情况我也没遇到过，和你一起等待高手们的解答。

帮你顶。
电镜的型号最好说一下。有的放矢嘛。

钨灯丝咯？按照换灯丝流程把灯丝拿下来再装上去装紧，做一下束对中，然后每次真空多抽会儿再加电压试试~

用的是JEOL-6390,放了一天，今天又正常了。

最好仔细观察一段时间，这样有助于仪器维护

怎么和我们的情况一样啊，我们也是JEOL6390的，是不是这款仪器有这个弊端啊？期待高手解答帮忙解决问题！

终于灯丝于上周断了

专门找电镜故障的帖子来看。

资深专家看法：
束流不稳的原因很多，你这种情况概率最大的是灯丝两脚趾间绝缘程度下降，根本原因是真空条件下钨丝的蒸发造成的，用抛光膏清洁一下或者更换一个新的灯丝看看吧。
但愿如此，如果是其他原因就麻烦大了。