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【求助】Delta-F 760讨论

dr-duck

2010/09/15

其他仪器综合讨论

请教下大家,最近身边几台Delta-F 760 最近出现了点异常状况.在打开机台前面板检查的时候,O2读值有2PPB的波动，而之前都没有的。我所知温度、压力会对氧分析有影响,有这么明显吗？有可能是电解液受污染,导致对温度、压力更敏感吗？希望大家给点建议。万分感谢。

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chengjingbao

第1楼2010/09/15

这个范围的波动，我觉得都是算小的，动管线和信号电源线，自然会对测量数值有影响，通常这段时间需要忽略的，挂信号输出的，则需要办理信号旁路手续，不然，维护过程中导致的测量数值波动就会影响质量控制了。

电解的污染通常是对测量数值的钝化影响较大；温度和压力对瞬时显示影响较大，特别是压力，对渗透膜式的测量体系影响巨大。
dr-duck(dr-duck) 发表:请教下大家,最近身边几台Delta-F 760 最近出现了点异常状况.在打开机台前面板检查的时候,O2读值有2PPB的波动，而之前都没有的。我所知温度、压力会对氧分析有影响,有这么明显吗？有可能是电解液受污染,导致对温度、压力更敏感吗？希望大家给点建议。万分感谢。

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dr-duck

第2楼2010/09/16

非常感谢,DF760氧分析就有应用到渗透的，压力影响不难理解。麻烦请指点下什么叫测量数值的钝化影响,小弟初学不懂？谢谢！
chengjingbao(chengjingbao) 发表:这个范围的波动，我觉得都是算小的，动管线和信号电源线，自然会对测量数值有影响，通常这段时间需要忽略的，挂信号输出的，则需要办理信号旁路手续，不然，维护过程中导致的测量数值波动就会影响质量控制了。

电解的污染通常是对测量数值的钝化影响较大；温度和压力对瞬时显示影响较大，特别是压力，对渗透膜式的测量体系影响巨大。

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chengjingbao

第3楼2010/09/16

钝化即反应迟钝，测量数值变化缓慢的意思。测量远远跟不上真实值变化情况，此时的仪器测量，不但测量滞后，而且测量数值偏差大；下面要做的就是维护了。
dr-duck(DR-duck) 发表:非常感谢,DF760氧分析就有应用到渗透的，压力影响不难理解。麻烦请指点下什么叫测量数值的钝化影响,小弟初学不懂？谢谢！

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eastadvance

第4楼2010/12/10

讓reference穩定後再做zero, 我們做台積電(TSMC)他們要求要在1個ppb 以下,並且要穩定,reading 不可飄,更不能有chain-up or chain-down.

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该帖子已被版主-chengjingbao加2积分，加2经验;加分理由:欢迎加入讨论！

dreamheaven

第5楼2010/12/13

讓reference穩定後再做zero----这个还是不能避免仪器读值的漂移。
760本身过于集成，测量水分部分又不停散发热量，内部散热非常不理想。所以对于使用环境很严格，虽然对于半导体厂CQC都处于洁净间恒温恒湿可以保证。但是打开前面板或者震动还是能带来波动。
总体来说，760测量精度非常好，但是可维护性非常不好。
真空泵就是个悲剧，好像现在改成真空发生器了？

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