【讨论】硅片中碳氧含量的测试

这个有国家标准，参考国家标准做就可以。有专门的红外光谱仪测试就可以。
要求测试试样 经双面研磨/单面抛光/双面抛光（机械/化学抛光）硅晶片均可。 要求试样在室温下电阻率＞0.1Ω.cm,试样的厚度范围为2.00mm—3.00mm。
参样要求：参样的厚度约为2.00mm，双面抛光呈镜面，并且参样中的氧、碳含量均小于1×1016 cm-3。
对于低碳含量样品,多个实验室测量碳含量精密度，按照“硅中代位碳含量的红外吸收测量方法”国家标准(GB/T 1558-1997)

有具体的标准内容么？

一般的FTIR 就可以阿，需要买ASTM标准硅片，这个标准片很贵，前几年我们去询过价钱，好像是2500美金一片，一般要买个三片以上吧，后来项目变动，就没买了

你要测这个吗
这个含量很少很少的，其他方法都不好测，也就IR好发挥作用

大家有做过的嘛！！来分享下经验啊！！

硅片中碳氧含量测试很容易,根据国标测试就可以了.抛光后透射测试,标准曲线法定量,不需要低温附件也可以得到很好的结果.如果想测试氮硫磷就一定要用低温附件了.
硅片现在最火的领域就是作为太阳能电池基板了,其他在半导体\光存储\通信也有很多应用

ASTM标准硅片和参比硅片，哪里可以买到？急需呀！邮箱，luxiaobin2007@163.com,tel,15365183990

去做硅片碳氧含量的红外仪器厂商咨询吧！！他们要做这一块的话，肯定会有买的！！这些就应该不用分国产还是进口了！

上海BRUKER去问了，他们也不是很清楚。不知道其它红外经销商怎么样？有消息的兄弟一定要挺我一把呀