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【求助】微米厚度的薄膜怎么测XRD

X射线衍射仪（XRD）

  • 大家好，我有一个大约一微米厚的薄膜，现在想测试XRD， 表征薄膜的取向特征，但是我发现试样太薄了，怎么测都没有信号出现呀。
    想请教大家有没有什么好的解决办法。
    谢谢啦。
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    +关注 私聊

  • 250895421

    第1楼2010/11/01

    TEM是不是更好一点

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  • 250895421

    第2楼2010/11/01

    TEM是不是更好一点

0
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  • yeqiu

    第3楼2010/11/01

    我感觉TEM只是测试的一个很小的范围，不能表征薄膜的整体取向特征的。
    谢谢。。。。

    250895421(250895421) 发表:TEM是不是更好一点

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  • lp1113

    第4楼2010/11/01

    你可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试

    yeqiu(yeqiu) 发表:大家好，我有一个大约一微米厚的薄膜，现在想测试XRD， 表征薄膜的取向特征，但是我发现试样太薄了，怎么测都没有信号出现呀。
    想请教大家有没有什么好的解决办法。
    谢谢啦。

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  • yeqiu

    第5楼2010/11/01

    掠入射就是用一个很小的入射角来测试吗？那个角一般是多少比较合适呢，我是表征取向的。
    谢谢你的帮助。。。

    lp1113(lp1113) 发表:你可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试

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  • xujun16

    第6楼2010/11/01

    掠入射就是用一个很小的入射角来测试吗？
    答：是XRD对于薄膜样品的仪器，叫GID，掠入射小角X射线衍射。
    需用专门的仪器。
    谢谢大家指正！

0
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  • rubyzsq

    第7楼2010/11/03

    掠入射角一般在0.5到1°之间，根据膜的厚度来调节角度，膜厚角度可以适当大点

0
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  • jidzhang

    第8楼2010/11/04

    其实用普通模式也可以的，估计你的问题是薄膜没有对准到光路中

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  • jidzhang

    第9楼2010/11/04

    对准后我们几十纳米的薄膜也能测试出来的

1
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  • iangie

    第10楼2010/11/05

    应助达人

    看薄膜是什么成分了~~

    如果是高原子量的元素组成的~

    质量吸收系数就很高~~

    1微米应该算是infinity thinkness了

    可以常规测试出来~~

    如果你测了不出峰,可能是薄膜中晶粒取向太好.

    只有用GID了~

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