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【讨论】三氯氢硅的金属杂质

  • xingyelove
    2010/11/06
  • 私聊

ICP-MS

  • 请问多晶硅行业三氯氢硅主要控制的金属杂质有哪些?控制指标是多少?大家一起讨论一下。
    我们这边是把混标中有的元素都测出来,但是具体控制的指标没有定论。
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  • nps

    第1楼2010/11/07

    等国标吧,月底就要开审定会了

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  • liaoxiaozi

    第2楼2010/12/28

    国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量

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  • xingyelove

    第3楼2010/12/29

    这好像是成品的金属杂质指标吧,具体到过程控制中的三氯氢硅不知道是什么样的要求?

    liaoxiaozi(liaoxiaozi) 发表:国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量

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  • nps

    第4楼2011/02/18

    等着吧,国标难产了...

    liaoxiaozi(liaoxiaozi) 发表:国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量

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  • 光哥

    第5楼2011/02/22

    应助工程师

    那个标准~~~~~飘过,不评价

    nps(nps) 发表:等着吧,国标难产了...

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  • jiangdelai909

    第6楼2011/02/24

    检测方法的标准呢,什么时候有?

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  • regedit88888

    第7楼2011/02/24

    P,B怎么做?多晶硅,感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。

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  • 光哥

    第8楼2011/03/01

    应助工程师

    视产品情况而定,化学法的硅,P/B一般都用FT-IR(我们的企业不是化学法,不知对否),冶金法的因为其浓度处在ppm级别,ICP-MS或者ICP-OES都能分析,而且和GDMS或者SIMS符合得也蛮好的。
    其实这个行业也谈不上忽悠,说道贪婪,估计谁都没能比得过资本家的。

    regedit88888(regedit88888) 发表:P,B怎么做?多晶硅,感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。

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  • nps

    第9楼2011/03/05

    如果想测多晶硅中的B、P,请参考《GB/T24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》;如果想测三氯氢硅中的B、P,那就自己想办法吧,现在还没有行业标准和国家标准。

    regedit88888(regedit88888) 发表:P,B怎么做?多晶硅,感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。

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