ICP-MS
nps
第1楼2010/11/07
等国标吧,月底就要开审定会了
liaoxiaozi
第2楼2010/12/28
国标发布了 太阳能级多晶硅标准中规定了 基体金属杂质的含量
xingyelove
第3楼2010/12/29
这好像是成品的金属杂质指标吧,具体到过程控制中的三氯氢硅不知道是什么样的要求?
第4楼2011/02/18
等着吧,国标难产了...
光哥
第5楼2011/02/22
那个标准~~~~~飘过,不评价
jiangdelai909
第6楼2011/02/24
检测方法的标准呢,什么时候有?
regedit88888
第7楼2011/02/24
P,B怎么做?多晶硅,感觉是科技传销。贪婪的砖家忽悠贪婪的老板们的钱。
第8楼2011/03/01
视产品情况而定,化学法的硅,P/B一般都用FT-IR(我们的企业不是化学法,不知对否),冶金法的因为其浓度处在ppm级别,ICP-MS或者ICP-OES都能分析,而且和GDMS或者SIMS符合得也蛮好的。其实这个行业也谈不上忽悠,说道贪婪,估计谁都没能比得过资本家的。
第9楼2011/03/05
如果想测多晶硅中的B、P,请参考《GB/T24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》;如果想测三氯氢硅中的B、P,那就自己想办法吧,现在还没有行业标准和国家标准。
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