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【求助】薄膜xrd掠入射能看薄膜的择优取向吗？谢谢！

X射线衍射仪（XRD）

  • 各位大侠帮忙解答:
    1. 我看文献上有的说xrd掠入射看薄膜物象鉴定，常规的θ/2θ扫瞄看薄膜的择优取向。薄膜xrd掠入射能看薄膜的择优取向吗？

    2. 我做常规的θ/2θ扫瞄时只有衬底峰没有薄膜信息，所以只能做掠入射，我是在单晶SiC片子上磁控溅射AlN薄膜（约500nm厚），但是我要对比不同参数下薄膜的择优取向，我该怎么测呢？

    3. 我用的设备是日本理学D/MAX 2500PC X射线粉末衍射仪，做掠入射时加了薄膜附件，采用2θ扫瞄模式，θ角固定（2.5、3、5、8、15、30度），不管θ角多大都没出现衬底峰只有薄膜峰，但是随着θ角的增大，AlN （0002）峰强也增大，而.（10-13）峰强则减小直到消失，这是为什么？
    另外，掠入射时θ角越小x线在薄膜中的光程应该越大，反应的薄膜信息应该越丰富对吗？为什么我做θ角0.5度和1度时什么峰都没有呢？
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  • lfxfj2012

    第1楼2010/12/08

    烦请各位大侠帮忙分析，急！

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  • zircon2008

    第2楼2010/12/10

    就我个人经验，基底有定向的，上面生长的膜一般也有定向，用掠入射难以测出衍射峰。
    我只在以玻璃为基底的薄膜样品上，用掠入射能测出衍射峰来。

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  • poplar_yang

    第3楼2010/12/11

    理论上是可以做到这一点，其实并不容易。
    帕纳科Empyrean 可以测试三维分子结构，所以它可以看薄膜的择优取向，但我从来没有尝试日本理学D/MAX 2500PC X射线粉末衍射仪

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  • kxin

    第4楼2010/12/18

    我之前做ZnO，在玻璃为基底的薄膜样品上，用掠入射能够做出来，但具体的设备是不是和你得一样，记不得了，因为当时都是送检得。

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