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【求助】探头被污染!!???

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 这是在最小的倍数下做的测试图

    首先我不明白这个边框怎么就出来了,明明以前是没有的,但有经验的老师说是没有问题的,但还请各位帮忙给个原因,让我死得瞑目些
    但更重要的是边框上的那些絮状的东西,是不是探头被污染了。
    我们是有做粉末的样品,即时喷金仪坏了以后,。具体是用导电胶粘一层薄薄的粉末样品,再用洗耳球狂吹,某次来参观考察的专家说这样处理过后放进样品室抽真空,粉末样品就不会飞起污染样品室,但我也具体不知这是对还是错
    不管是不是探头污染,请问怎么去掉这些絮状物呢?
    请各位帮帮忙

    补充一下,SEM型号:FEI QUANTA 400
    呵呵
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  • huangtao0307

    第2楼2010/12/22

    1.边框問題﹕你的設備有沒有背散探頭啊﹐我們之前也碰到過。后來分析是由于背散探頭放歪造成的.
    2.做粉末品對電鏡有影響是肯定的.那位專案說的樣品前處理方法也是可取的.不過在放到電鏡里
    前最好先利用其他抽真空設備預抽一下﹐這樣可以把一些可能會因為抽真空跑掉的粉末先
    處理掉.
    3.去掉这些絮状物質似乎沒有其他更好的辦法了﹐只有在設備大保養時更換光攔.清洗鏡筒才能
    真正解決這個問題.

    wyj8578(wyj8578) 发表:这是在最小的倍数下做的测试图

    首先我不明白这个边框怎么就出来了,明明以前是没有的,但有经验的老师说是没有问题的,但还请各位帮忙给个原因,让我死得瞑目些
    但更重要的是边框上的那些絮状的东西,是不是探头被污染了。
    我们是有做粉末的样品,即时喷金仪坏了以后,。具体是用导电胶粘一层薄薄的粉末样品,再用洗耳球狂吹,某次来参观考察的专家说这样处理过后放进样品室抽真空,粉末样品就不会飞起污染样品室,但我也具体不知这是对还是错
    不管是不是探头污染,请问怎么去掉这些絮状物呢?
    请各位帮帮忙

    补充一下,SEM型号:FEI QUANTA 400
    呵呵

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  • wyj8578

    第3楼2010/12/22

    实在是很谢谢LS的回答

    1.有背散射的探头,那我再调整一下探头是不是可以消除边框,有不少客户反应低倍的时候实在是不好看
    2.除了一个坏了的喷金仪就没有其他的抽真空的设备了,呵呵
    3.等到设备大保养都不知何年何月了,只好先凑合着用了

    O(∩_∩)O谢谢

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  • 小M

    第4楼2010/12/22

    应助达人

    低倍的时候,确实是可以看到极靴的。
    加了背散射探头就更加能看到那个框了。
    没看到有你说的絮状物啊?

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  • fengyonghe

    第5楼2010/12/22

    LFD是什么探测器?成像原理是什么?网上没搜索到。二次电子像能否看到边框?

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  • wyj8578

    第6楼2010/12/23

    在边框的左右两边上

    Mitchell(mitchell_dyzy) 发表:低倍的时候,确实是可以看到极靴的。
    加了背散射探头就更加能看到那个框了。
    没看到有你说的絮状物啊?

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  • wyj8578

    第7楼2010/12/23

    这是FEI 环境扫描电镜低真空模式的探头,这是二次电子像吧!!?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:LFD是什么探测器?成像原理是什么?网上没搜索到。二次电子像能否看到边框?

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  • schokolade38

    第8楼2010/12/23

    BSED装了吗?用LFD时最好把BSED拿掉, 图像问题不大, 边缘的的问题可以通过更换200UM 光阑和清理POLEPIECE解决

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  • tigerlt

    第9楼2011/01/04

    在很低的放大倍数下不可避免的看到光阑孔的边。这的确是正常现象。如果你不想看到,可以增加工作距离。高真空时还可以把insert取出。都可以增大视野。絮状物不是探头被污染了而是沾在光阑上了。如果像散可以调好都没必要管它。如果无法调像散可以考虑换光阑。

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  • tigerlt

    第10楼2011/01/04

    LFD large field detector
    低真空二次电子探头。原理类似于环扫探头,都是样品表面二次电子电离气体分子,在外加电场作用下引发雪崩效应,电离的气体正离子中和表面荷电,二次电子成像。这本身就是二次电子像。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:LFD是什么探测器?成像原理是什么?网上没搜索到。二次电子像能否看到边框?

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  • ningwq

    第11楼2011/01/04

    可以增加工作距离。絮状物如果像散可以调好都没必要管它。如果无法调像散可以考虑换光阑。

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