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能谱测试取样深度

扫描电镜(SEM/EDS)

  • EDS分析时的取样深度一般是多少呢?Acc.V :20V,束斑直径:20nm
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  • 第1楼2005/02/28

    这要取决于样品的成分,一般黑色金属为 1 微米左右,重金属要小一些,轻元素有些要达几十微米。

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  • 第2楼2005/06/21

    嗯,一般说是几个立方微米的空间,梨形球。具体多大oxford的软件里面有个计算模拟的程式。

    zemb 发表:这要取决于样品的成分,一般黑色金属为 1 微米左右,重金属要小一些,轻元素有些要达几十微米。

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  • 第3楼2005/06/22

    一般说是几个立方微米的空间,梨形球。具体多大oxford的软件里面有个计算模拟的程式

    能具体介绍下吗?

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  • 第4楼2005/06/22

    这个是oxford能谱软件里面有的一个小功能。如果没有记错的话,应该在help文件里面可以找到。输入电压和元素,应该就出现一个类似梨形的球体,里面是电子运动的轨迹,并显示深度。
    可惜这个文件似乎只能在整个软件安装好之后才能用。所以无法传,唉

    cz_sem 发表:一般说是几个立方微米的空间,梨形球。具体多大oxford的软件里面有个计算模拟的程式

    能具体介绍下吗?

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  • 第5楼2005/06/22

    是啊,作用深度跟样品材质和加速电压有关系也,还有跟电子束大小应该也有关系吧?

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  • 第6楼2005/06/22

    好像没有关系,这个跟X射线信号产率有关吧?

    SeanWen 发表:是啊,作用深度跟样品材质和加速电压有关系也,还有跟电子束大小应该也有关系吧?

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  • 第7楼2005/07/07

    电压和电流对取样区域和深度都有影响。
    对原子序数小的元素来说,取样区域呈梨型,原子序数大的元素取样区域为半球型,随着电压和电流的增大,其取样深度都增大。

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  • 第8楼2005/07/07

    越来越惭愧了,自己能谱方面的知识太缺乏了。

    halerok 发表:电压和电流对取样区域和深度都有影响。
    对原子序数小的元素来说,取样区域呈梨型,原子序数大的元素取样区域为半球型,随着电压和电流的增大,其取样深度都增大。

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  • 第9楼2005/07/07

    不相信我?

    shxie 发表:越来越惭愧了,自己能谱方面的知识太缺乏了。

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  • 第10楼2005/07/07

    呵呵,不是不相信你,是不相信自己的能力,越来越觉得应该让贤了

    SeanWen 发表: 不相信我?

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