【讨论】纳米力学综合测试仪---Mirau干涉仪

这玩意还真没用过

这个仪器主要测什么的？

是啊，请楼主详细的介绍一下吧，以前都没有听说过呢。应用于什么行业？干什么用的？

Mirau干涉仪的是一种特殊的设备,它可以观察纳米大小的偏移或变形
　　非常小的部分,比如:微机械设备。其原理是基于两个干扰连贯
　　单色光束。

还有没有其他方面的应用？？？

These applications include:

– measurement of bending of parts in MEMS such as cantilever beams or contactors in printed circuit
boards,

– bending of bond pads,

– measurement of Poisson’s ratio via four point bending and the anticlastic curvature method,

– membrane deformation,

– in-situ observation of deformation field during indentation,

– in-situ through-the-sample observation of deformation and crack formation during scratching on transparent materials.

这个有点陌生

这些应用包括：

- 测量弯曲的部分，如在MEMS悬臂梁或印刷电路接触器
板，

- 弯曲焊盘，

- 测量泊松比通过四个点和anticlastic弯曲曲率法，

- 膜变形，

- 在原址在压痕形变场观测，

- 样品的变形和裂缝的形成过程中观察的透明材料

这些应用包括：

- 测量在MEMS（为电子机械系统）中的弯曲的部分，如悬臂梁或印刷电路中的接触器


- bond pads弯曲，

- 通过四个点测量泊松比和anticlastic弯曲曲率法，

- 膜的变形，

- 原位观测压痕，

- 观察透明材料样品的变形和裂缝的形成过程