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【讨论】XPS与AES的差别

antill

2011/03/03

XPS及其它能谱仪

一直在做XPS，但似乎对这个技术没有进行一个很好的总结，今天一位小兄弟问我XPS和AES的主要差别在哪里，我居然总结不出几点来，希望各位仁兄能帮助一下。另外，AES用电子轰击样品的时候本来就产生一次电子，为什么还要去收集信号不是最强的俄歇电子呢？在此向各位老师请教了，谢谢！

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七月冰

第1楼2011/03/07

从机理上讲，XPS是光激发电子AES是电子束激发电子，被分析的分别是光电子和俄歇电子能量。这两种电子带有能级信息，通过分析其能量可以得到元素种类信息，XPS还可以通过分析精细谱的能量的微小化学位移来推断元素价态，俄歇也有分辨价态的作用，但由于缺少大量数据库的支持很少应用。从样品情况来讲，AES要求样品具有一定的导电性，而XPS对此要求要低很多，随着中和技术的发展，现在可以测试完全绝缘的样品而不受荷电影响。
应用俄歇电子是因为带有元素能级跃迁等信息，可以判断元素，一次电子、二次电子能分辨元素吗？

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antill

第2楼2011/03/10

谢谢七月冰！
希望有更多的朋友能补充！

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