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【求助】请教高手：关于薄膜表面氧化层的测试用哪种啊（xrd还是xps，或者其他啊）

allenren

2011/03/16

X射线衍射仪（XRD）

各位大侠！
本人需要测试玻璃基板上CuInGa合金表面的氧化情况，（具体需要知道氧化层的厚度，分布和成分），用什么测试方法。高手指教
谢谢！
CuInGa的合金薄膜制备方法是磁控溅射，厚度大概几个微米。

XRD小角可以看表面的氧化层吗？XPS能分析出氧化物吗？因为氧化膜很薄（估计几个纳米），所以不清楚这些仪器的能力是否可以达到。

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humingmei2009

第1楼2011/03/16

如果确实有氧化发生，小角XRD可以检测到氧化物的。我用0.6°的掠射角测过。

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allenren

第2楼2011/03/16

请教一下，你的样品是什么？我也做过XRD，但是由于氧化层的信号太弱，貌似没看出氧化相。你的氧化的比较厉害吧？不知你还用过什么方法？TEM如何？

humingmei2009(humingmei2009) 发表:如果确实有氧化发生，小角XRD可以检测到氧化物的。我用0.6°的掠射角测过。

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humingmei2009

第3楼2011/03/18

我已经可以宏观观测到氧化了，氧化峰还蛮强的。TEM貌似不好做表面氧化层吧，你可以尝试XPS做做，可以看几个纳米厚。

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