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【求助】求助薄膜的氧化层的成分和分布该如何测

元素分析综合讨论

  • 各位大侠！
    本人需要测试玻璃基板上CuInGa合金表面的氧化情况，（具体需要知道氧化层的厚度，分布和成分），用什么测试方法。高手指教
    谢谢！
    CuInGa的合金薄膜制备方法是磁控溅射，厚度大概几个微米。

    XRD小角可以看表面的氧化层吗？XPS能分析出氧化物吗？因为氧化膜很薄（估计几个纳米），所以不清楚这些仪器的能力是否可以达到。
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