仪器信息网APP

选仪器、听讲座、看资讯

立即体验

当前位置：仪器社区 >显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS） > 帖子详情

【求助】新手+菜鸟问一些关于EDS的问题

xhj02004616

2011/03/20

扫描电镜（SEM/EDS）

做摩擦学试验接触的SEM和EDS，但是理解不多，概念很模糊

有几个关于EDS的问题，可能问的不是很到位啊，望大佬们不吝赐教：
1 EDS检测的是什么信号，电子跃迁发射出的X射线？下图中FeK，其中K表示什么？

Element

Wt%

At%

CK

25.87

50.88

OK

10.92

16.12

NaK

07.80

08.02

ClK

03.85

02.57

KK

03.37

02.03

FeK

48.19

20.38

Matrix

Correction

ZAF

2 EDS检测半定量分析的分辨率是多少，如果at%仅有1%左右可以作为分析的参考吗？

3 影响EDS精度的因素有那些，平常我们做EDS分析时可以做些什么让EDS分析结果更加可靠

相关话题

fengyonghe

第1楼2011/03/23

有几个关于EDS的问题，可能问的不是很到位啊，望大佬们不吝赐教：1 EDS检测的是什么信号，电子跃迁发射出的X射线？下图中FeK，其中K表示什么？

EDS检测的是电子在能级间跃迁发射出的特征X射线能量。下面的图可以说明K线系、L线系
2 EDS检测半定量分析的分辨率是多少，如果at%仅有1%左右可以作为分析的参考吗？
能谱仪分辨率可达到129ev(129电子伏特），空间分辨率依高压和被测物质而定，重元素是几个微米。如果at%仅有1%左右可以作为分析的参考，但相对误差可达百分之几十。3 影响EDS精度的因素有那些，平常我们做EDS分析时可以做些什么让EDS分析结果更加可靠
试样的多相和均匀性问题、被测颗粒的大小、加速电压选取的原则、试样放电问题、试样的稳定性问题、谱仪的最优化和标准化问题、死时间、活时间和总计数量问题。

0

小M

第2楼2011/03/23

应助达人

冯老师可以把第三点——影响因素，逐一详细讲解么？先谢谢啦~

前面两点都很详细，看懂了~

0

yangx

第3楼2011/03/25

样品表面的粗糙程度也会影响到结果，比较理想的情况是将样品表面抛光

0

近期热榜

热门活动

猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

丹纳赫苏州基地打工人的梦想

日立科学仪器

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

日本电子株式会社

赛默飞世尔科技

马尔文帕纳科

上海仪电科仪

梅特勒托利多

布鲁克核磁

举报帖子

点赞用户

好友列表

加载中...

正在为您切换请稍后...