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第10楼2011/03/27
技术指标
分光系统
l 光室恒温:15℃,恒温精度:±0.1℃
l 帕邢-龙格光学系统,焦距:750mm
l 全息光栅:2*3600,1*1800线grooves/mm
l MgF2光学组件,光栅材质为Zerodur
l 波长范围:130-770nm,一级全谱成像
l 入射狭缝15μm
检测器
l 32个线性检测器:3648像素/CCD
l 分辨率(Pixel):
3 pm(130nm-340nm)
6 pm(340nm-770nm)
l 热稳定光学系统
l 高速数据读出电路
l 动态范围:108
l 最短积分时间为:1ms
l 最短测量时间为:2s
l TCP/IP协议,支持数据远程传输和再处理
远紫外区光学系统UV-PLUS
l 专利的远紫外区光学系统UV-PLUS
l 氩循环,无须吹扫
l 入射光路光学器件易于维护
l 自动其它净化系统
l 长寿命净化器
激发光源
l 自激式,频率为27.12 MHz
l 输出功率为0.7到1.7 kW
l 稳定性<0.1%
l “待机模式”可有效降低功率和氩气的消耗
l 风冷式冷却装置
l 全计算机控制
尺寸和重量
l 1074 mm(高)*1560 mm(宽)*750 mm(深)
l 重量:250kg(约551 lbs)
环境条件
l 温度范围:18—35℃(64-95℉)
l 相对湿度:< 80%
l 不能有腐蚀性气体或大量的灰尘
废气排放需求
l 水平式观测模式:250 m3/小时(150 cft/min)
l 垂直式观测模式:300 m3/小时(175 cft/min)
l 发生器:250 m3/小时(150 cft/min)
氩气
l ≥4.6(99.996%)
l 压力:7.5 bar ( 109 psi )
OPI冷却装置
l 进口温度:5-25 ℃(41-77 ℉)
l 流速:1.5-2.5 l/min (0.4-0.7 gal/min)
l 水压:1-5 bar (14.5-72.5 psi)
电源要求
l 230 VAC±10%,50/60Hz
l 功率消耗:大约5 KVA
l 30-32A慢熔保险